溫度對硅柱拋光超純水設備反滲透的運行壓力、脫鹽率、壓降影響明顯。溫度上升，滲透性能增加，在一定水通量下要求的凈推動力減少，因此實際運行壓力降低。
溫度對反滲透各段的壓降也有一定的影響，溫度升高，水的粘度降低，壓降減少。鹽分透過膜的擴散速度會因溫度的提高而加快，同樣會導致透鹽率的增加和脫鹽率的下降。
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